В 1969 г. появилась короткая статья с описанием установки для нанесения, в которой кремниевые пластины перемещались воздушной шторкой. Этот метод, разработанный фирмой Industrial Modules Systems, был "воскрешен" в конце 1970-х годов в полностью автоматических установках оперативной обработки ИС. Разработка литографических методов, внедрение которых для производства сверхбольших интегральных схем планировалось на 1980 г., началось еще в 1960-х годах.

Прежде всего быментом был диалоговый видеотерминал, снабженный световым пером для внесения изменений. К 1969 г. машинное проектирование ИС стало общепринятым методом. Компьютеры делали все, начиная от проверки логических уравнений и кончая распечаткой команд для установки по производству ИС. Стандартным решением стало применение хранимых отработанных ячеек (стандартных подсхем), расчленяющей логики и машинной графики.

С усложнением интегральной технологии возникли трудности, обусловленные необходимостью соединения миниатюрного кристалла с ли разработаны генератор рисунка ИС и камера для пошагового репродуцирования. Эти устройства позволили изготовлять прецизионные фотошаблоны для ИС. Другая прогрессивная технология - рентгеновская литография - появилась только в 1970 г.

Технология изготовления фотошаблонов, которая стимулировала развитие всех литографических методов, очень скоро стала настолько сложной, что разработчики ИС были вынуждены обратиться к машинному (автоматизированному) проектированию. В 1964 г. отделение Nor-den фирмы United Aircraft применила компьютер для анализа проектируемой линейной схемы (двухкаскадного дифференциального усилителя) и разработки топографии фотошаблона.

Планарный корпус, появившийся первым, выполнялся из керамики, пластмассы или металла и с двух сторон имел плоские ленточные выводы. Этот корпус был предложен в 1962 г. фирмой Texas Instruments (Даллас). Он быстро завоевал всеобщее признание и стал стандартным; в 1965 г. фирма TI разработала панельку для планарного корпуса.

Прямоугольный корпус из керамики или пластмассы с двухрядным расположением выводов впервые был создан в 1964 г. в фирме Fair-child Semiconductor в то время отделение фирмы North American Aviation - создала интересную модификацию корпуса DIP, которая снова привлекла к себе внимание в конце 1970-х годов,- керамический корпус с 42 выводами. С каждой стороны основания этого корпуса были предусмотрены два разнесенных ряда штырьков, имеющих расстояние между центрами 1,27 мм. Это так называемый корпус с четырехрядным расположением выводов.