В новом радиолокационном маяке, созданном в 1961 г., был применен нувистор малогабаритная керамическая радиолампа фирмы RCA. Появились транзисторы и -стабилитроны, хотя и в ограниченных количествах. В 1963 г. радиолампы все еще использовались конструкторами электронного оборудования. Например, фирма RCA верила в них настолько, что затратила 11,6 млн. долл. на расширение завода электровакуумных приборов в Ланкастере (шт. Пенсильвания).

Однако в конце 1960-х годов радиолампы практически перестали применять; исключение составляли специальные радиолампы для мощных передатчиков и радиолампы для замены выходивших из строя приборов в эксплуатируемой аппаратуре. Победу над ними одержали кремниевые транзисторы. Пока происходила эта борьба, разработчики пассивных и даже электромеханических компонентов не стояли на месте. В 1964 г. появились сообщения о малогабаритных резисторах, предназначенных для высокоплотного монтажа.

В основном это были изделия на основе различных пленок, формируемых путем напыления углерода, металла или окиси олова. На подложках гибридных ИС использовались прецизионные резисторы на тонких пленках нихрома или тантала. Реле становились все меньше и меньше, а их быстродействие все время возрастало.